SK海力士携手TEMC开发创新氖气回收技术，年省400亿韩元

【ITBEAR科技资讯】4月2日消息，韩国半导体巨头SK海力士与特种气体制造商TEMC共同宣布，双方已成功研发出业内首项氖气回收技术。此项技术预计每年将为SK海力士节省高达400亿韩元(折合人民币约2.14亿元)的氖气采购费用。

近年来，受地缘政治环境影响，稀有气体如氖气的供应链日益紧张，价格也随之飙升。在这一背景下，SK海力士与TEMC的合作显得尤为重要。氖气在半导体光刻工艺中发挥着至关重要的作用，是准分子激光气体的核心组成部分。然而，由于其化学性质稳定，难以与其他物质反应，因此可以通过特定的技术进行分离和纯化，从而实现回收再利用。

SK海力士与TEMC紧密合作，开发了一系列氖气回收装置。这些装置能够在光刻工艺完成后，有效地从环境中收集并选择性分离出氖气。随后，这些分离出的氖气将由TEMC进行专业纯化，确保其质量达到重新供应给SK海力士的标准。

据ITBEAR科技资讯了解，目前这套回收装置的整体回收率已达到72.7%，并有望在未来进一步提升至77%。这一突破性的回收技术不仅有望显著降低SK海力士的氖气采购成本，还将为环保事业作出巨大贡献，预计每年可减少约12000吨二氧化碳当量的碳排放。

此外，韩国另一家半导体巨头三星电子也在积极探索氖气的回收利用技术，以期在芯片生产过程中实现更高效的资源利用。这一趋势反映出，随着全球对稀有气体资源的争夺日趋激烈，半导体行业正不断探索新的技术路径，以应对供应链挑战并实现更可持续的发展。